差动电容传感器的结构示意图如图1所示。
固定板固定在水平基座和测量平面上,移动板由悬挂线悬挂。
当测量平面具有一定的倾斜角度时,移动板总是由于重力而保持垂直状态,并且固定板的极点距离减小,并且与另一极板的距离增加以形成差分输出。
由于测量的倾斜角非常小,可以认为移动板和固定板总是平行的。
差分电容传感器可用于测量线性位移,角位移和振动幅度。
它特别适用于测量机械量,如温度测量,高频振动幅度,精确轴旋转精度和加速度。
它还可用于测量压力,压差,液位,材料水平,食品中的水分含量,非金属材料涂层,油膜厚度,介电湿度测量,密度,厚度等。
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